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電渦流測(cè)量原理是一種非接觸式測(cè)量原理。這種類型的傳感器特別適合測(cè)量快速的位移變化，且無(wú)需在被測(cè)物體上施加外力。而非接觸測(cè)量對(duì)于被測(cè)表面不允許接觸的情況，或者需要傳感器有超長(zhǎng)壽命的應(yīng)用領(lǐng)用意義重大。
嚴(yán)格來(lái)講，電渦流測(cè)量原理應(yīng)該屬于一種電感式測(cè)量原理。電渦流效應(yīng)源自振蕩電路的能量。而電渦流需要在可導(dǎo)電的材料內(nèi)才可以形成。給傳感器探頭內(nèi)線圈提供一個(gè)交變電流，可以在傳感器線圈周圍形成一個(gè)磁場(chǎng)。如果將一個(gè)導(dǎo)體放入這個(gè)磁場(chǎng)，根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律，導(dǎo)體內(nèi)會(huì)激發(fā)出電渦流。根據(jù)楞茲定律，電渦流的磁場(chǎng)方向與線圈磁場(chǎng)正好相反，而這將改變探頭內(nèi)線圈的阻抗值。而這個(gè)阻抗值的變化與線圈到被測(cè)物體之間的距離直接相關(guān)。傳感器探頭連接到控制器后，控制器可以從傳感器探頭內(nèi)獲得電壓值的變化量，并以此為依據(jù)，計(jì)算出對(duì)應(yīng)的距離值。電渦流測(cè)量原理可以運(yùn)用于所有導(dǎo)電材料。由于電渦流可以穿透絕緣體，即使表面覆蓋有絕緣體的金屬材料，也可以作為電渦流傳感器的被測(cè)物體。獨(dú)特的圈式繞組設(shè)計(jì)在實(shí)現(xiàn)傳感器外形極致緊湊的同時(shí)，可以滿足其運(yùn)轉(zhuǎn)于高溫測(cè)量環(huán)境的要求。
電渦流傳感器可以承受有灰塵，潮濕，油污和壓力的測(cè)量環(huán)境。盡管如此，電渦流傳感器的使用也有一些限制。舉例來(lái)講，對(duì)于不同的應(yīng)用，都需要做相應(yīng)的線性度校準(zhǔn)。而且，傳感器探頭的輸出信號(hào)也會(huì)受被測(cè)物體的電氣和機(jī)械性能影響。然而，正是這些使用過(guò)程中的限制電渦流傳感器擁有達(dá)到納米級(jí)別的分辨率。目前，電渦流傳感器可以滿足100μm到100mm的測(cè)量量程。根據(jù)量程的不同，安裝空間也可以達(dá)到2mm到140mm的范圍。
離開(kāi)位移傳感器的機(jī)械工程幾乎是很難想象的。這些位移傳感器被用來(lái)控制不同的運(yùn)動(dòng)，監(jiān)控液位，檢查產(chǎn)品質(zhì)量以及其他很多應(yīng)用。這里我們談?wù)剛鞲衅鞫伎赡苊鎸?duì)哪些不同的情況以及惡劣的使用環(huán)境，以及如何客服不利因素。傳感器經(jīng)常被應(yīng)用于非常惡劣的環(huán)境，例如油污，熱蒸汽或者劇烈波動(dòng)的溫度。一些傳感器還要在振動(dòng)部件上使用，在強(qiáng)電磁場(chǎng)內(nèi)或者需要離開(kāi)被測(cè)物體一定的距離使用。對(duì)一些重要的應(yīng)用，還需要對(duì)精度，溫度穩(wěn)定性，分辨率和截止頻率提出要求。針對(duì)這些限制，不同的測(cè)量原理各有優(yōu)劣。這也意味著沒(méi)有統(tǒng)一的優(yōu)化測(cè)量原理的方法。
電渦流傳感器又可以細(xì)分為屏蔽和非屏蔽兩種。使用屏蔽傳感器，可以產(chǎn)生更窄的電磁場(chǎng)分布，而且傳感器不會(huì)受放射性金屬的靠近影響。對(duì)于非屏蔽傳感器，電磁線從傳感器側(cè)面發(fā)射出來(lái)。而量程往往會(huì)大一些。正確的安裝對(duì)于信號(hào)質(zhì)量至關(guān)重要。附近的其他物體也會(huì)影響信號(hào)。
電渦流傳感器的一個(gè)典型應(yīng)用是全自動(dòng)焊接測(cè)試機(jī)。測(cè)試機(jī)用于焊縫質(zhì)量控制。這里選用電渦流傳感器的原因是，只有電渦流原理的傳感器能夠承受由焊接機(jī)器人帶來(lái)的強(qiáng)大電磁場(chǎng)。測(cè)量還要滿足微米級(jí)別的精度以及4mm的量程。
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