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微型加速度傳感器原理是什么？ 微型加速度傳感器是微型傳感器的分支，歸屬于微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，長期以來都是熱門且具備現(xiàn)實(shí)意義的研究課題。選用微機(jī)電技術(shù)的微型加速度傳感器使用期限長、成本低、體積重量小，綜合性能大大優(yōu)于常規(guī)的加速度傳感器，不論在民用還是軍用領(lǐng)域都有著廣泛地應(yīng)用。
下面我們以常用的兩種微型加速度傳感器為例，來講解一下微型加速度傳感器的原理。
一、壓阻式微型加速度傳感器
工作原理為壓阻效應(yīng)，即在一塊半導(dǎo)體的某一軸向施加一定的應(yīng)力時(shí)其電阻率產(chǎn)生變化的情況。當(dāng)有加速度輸入時(shí)，懸臂梁在產(chǎn)品質(zhì)量塊受到的慣性力帶動(dòng)下產(chǎn)生形變，導(dǎo)致固連的壓阻膜也隨著產(chǎn)生形變，其電阻值由于壓阻效應(yīng)產(chǎn)生變化，導(dǎo)致壓阻兩端的檢測(cè)電壓值產(chǎn)生變化，進(jìn)而可以通過確定的數(shù)學(xué)模型推導(dǎo)出輸入加速度與輸出電壓值的關(guān)系。做為最早出現(xiàn)的微型加速度傳感器，具備結(jié)構(gòu)、加工工藝簡單，接口電路易于實(shí)現(xiàn)的優(yōu)勢(shì)。
二、電容式微型加速度傳感器
的工作原理為位移變化引起電容變化。產(chǎn)品質(zhì)量塊上配置有檢測(cè)電容的一個(gè)極板，當(dāng)有加速度功能時(shí)，產(chǎn)品質(zhì)量塊產(chǎn)生位移，上下電容產(chǎn)生變化，根據(jù)電容變化差值可以獲得加速度。電容式微型加速傳感器靈敏度和測(cè)量精度高，產(chǎn)品穩(wěn)定性能好，溫漂小、功耗低。電容扭擺式工作原理與電容式相同，結(jié)構(gòu)不同，其產(chǎn)品質(zhì)量塊是不對(duì)稱的，通過扭轉(zhuǎn)軸與底座相連，底座表面有固定電極，產(chǎn)品質(zhì)量塊表面有相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)電極，當(dāng)有加速度功能時(shí)，不對(duì)稱的產(chǎn)品質(zhì)量塊在慣性作用下繞扭轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)。
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